A.Kokubo,T.Hattori,H.Hongo,M.Suhara,Y.Miyamoto,K.Furuya: "“A 25-nm-pitch GaInAs/InP bried structure using calixarene resist"" Jpn.J.Appl.Phys. 37,7A. L827-L829 (1998)
A.Kokubo,T.Hattori,H.Hongo,M.Suhara,Y.Miyamoto,K.Furuya: "“A 25-nm-pitch GaInAs/InP bried structure using calixarene resist"" Jpn.J.Appl.Phys. 37,7A. L827-L829 (1998)
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A. Kokubo、T. Hattori、H. Hongo、M. Suhara、Y. Miyamoto、K. Furuya：““使用杯芳烃抗蚀剂的 25 纳米间距 GaInAs/InP 混合结构”” Jpn.J.Appl.Phys。 37,7A。L827-L829（1998）
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