Effects of crystallographic surface and co-sputtered atom on the growth of ion-sputter induced Si nanocone arrays

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晶体表面和共溅射原子对离子溅射诱导硅纳米锥阵列生长的影响

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
Appl. Phys. A
影响因子:
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通讯作者:
陆明
陆明
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
陆明

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