新しい非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの開発
新しい非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの開発
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开发新型非蒸发吸气剂 (NEG) 涂层
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菊地貴司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮澤徹也;間瀬一彦;飛嶋健佑;菊地貴司
