Kazuo Tsubouchi: "Complete Planarization of Via Holes with Aluminum by Selective and Nonselective Chemical Vapor Deposition" Appl.Phys.Lett.57. 1221-1223 (1990)
Kazuo Tsubouchi: "Complete Planarization of Via Holes with Aluminum by Selective and Nonselective Chemical Vapor Deposition" Appl.Phys.Lett.57. 1221-1223 (1990)
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Kazuo Tsubouchi：“通过选择性和非选择性化学气相沉积对铝通孔进行完全平面化”Appl.Phys.Lett.57。
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