Mechanism of contact-resistance improvement in suspended device of bi-layer WSe2 by mild oxygen plasma treatment
Mechanism of contact-resistance improvement in suspended device of bi-layer WSe2 by mild oxygen plasma treatment
复制标题
弱氧等离子体处理改善双层WSe2悬浮器件接触电阻的机理
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. kaneko and T. Kato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Nagai;T. kaneko and T. Kato
