K,Sasaki 他: "Development of a compact nitrogen radical source by helicon-wave discharge employing a permanent magnet"Thin Solid Film. (2000)
K,Sasaki 他: "Development of a compact nitrogen radical source by helicon-wave discharge employing a permanent magnet"Thin Solid Film. (2000)
复制标题
K，Sasaki 等人：“利用永磁体通过螺旋波放电开发紧凑的氮自由基源”Thin Solid Film (2000)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
