Monolithic 50×50 MEMS silicon photonic switches with microsecond response time

Monolithic 50×50 MEMS silicon photonic switches with microsecond response time
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DOI：
10.1364/ofc.2014.m2k.2
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发表时间：
2014-03
期刊：
OFC 2014
影响因子：
--
通讯作者：
Sangyoon Han;T. J. Seok;N. Quack;B. Yoo;Ming C. Wu
Sangyoon Han;T. J. Seok;N. Quack;B. Yoo;Ming C. Wu
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者：
Sangyoon Han;T. J. Seok;N. Quack;B. Yoo;Ming C. Wu

文献摘要

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报道了一种开关电压为16V、开关时间为微秒的50×50 MEMS驱动硅光子开关。在9 mm×9 mm的芯片上集成了2500个MEMS悬臂梁1×2波导开关。
We report on 50×50 MEMS-actuated silicon photonic switches with 16V switching voltage and microsecond switching time. 2,500 MEMS cantilever 1×2 waveguide switches have been integrated on 9mm×9mm chips.