酸素無供給下でのRFスパッタリング法によるSrTiO3-Nb薄膜の作製と評価
酸素無供給下でのRFスパッタリング法によるSrTiO3-Nb薄膜の作製と評価
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无供氧射频溅射法制备SrTiO3-Nb薄膜并评价
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉本健一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
竹内智彦;篁耕司;吉本健一