High-speed Deposition of Diamond-Like Carbon on the Inner Wall of Metal Pipe by Using Surface Wave-Excited Plasma
High-speed Deposition of Diamond-Like Carbon on the Inner Wall of Metal Pipe by Using Surface Wave-Excited Plasma
复制标题
表面波激发等离子体在金属管内壁高速沉积类金刚石碳
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Noritsugu Umehara
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sho Kishine;Hiroyuki Kousaka;Noritsugu Umehara
