ゾル・ゲルPZT薄膜の製膜熱処理工程が圧電MEMS超音波センサの感度に与える影響
ゾル・ゲルPZT薄膜の製膜熱処理工程が圧電MEMS超音波センサの感度に与える影響
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溶胶-凝胶PZT薄膜成膜热处理工艺对压电MEMS超声波传感器灵敏度的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島将太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. H. Takaoka,H. Ryuto;M. Takeuchi;F. Musumeci;Nor Azlinah Binti Md Lazam;M. Eguchi and Y. Tsuji;中島将太
