高介电系数栅介质材料硅酸镧薄膜和制备方法及其应用

高介电系数栅介质材料硅酸镧薄膜和制备方法及其应用
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通讯作者:
刘治国
刘治国
中科院分区:
其他
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作者:
高立刚;国洪轩;夏奕东;殷江;刘治国

文献摘要

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