紫外光援用研磨によるダイヤモンド基板の平坦化 －研磨定盤の表面改質効果－
紫外光援用研磨によるダイヤモンド基板の平坦化 －研磨定盤の表面改質効果－
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紫外光辅助抛光平整金刚石基体-抛光平台的表面改性效果-
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田北隆浩，久保田章亀，峠 睦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀，田北隆浩，峠 睦;田北隆浩，久保田章亀，峠 睦
