マイクロ波リモートプラズマを用いた原子層堆積法によるGe基板上へのAl2O3薄膜の直接形成
マイクロ波リモートプラズマを用いた原子層堆積法によるGe基板上へのAl2O3薄膜の直接形成
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微波远程等离子体原子层沉积法在Ge基底上直接形成Al2O3薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
花田毅広
中科院分区：
文献类型：
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作者：
灘真輝;御厨雄大;齋藤勝彦;田中徹;西尾光弘;郭其新;花田毅広
