Internal Stress Analysis of BN Films by Molecular Dynamics Simulation

Internal Stress Analysis of BN Films by Molecular Dynamics Simulation
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通过分子动力学模拟分析 BN 薄膜的内应力

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
Proc. 7th Int.Symp. on Applied Plasma Science (ISAPS'09), Hamburg, Germany Vol.7
影响因子：
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通讯作者：
H. Uchida
H. Uchida
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K. Mukoyama;S. Hanaki;H. Uchida

文献摘要

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