1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計
1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計
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使用一对支撑梁的 3D 驱动 MEMS 扫描仪的形状设计
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩瀬英治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小口陽平;飯野知紗;岩瀬英治
