原子層積層構造の平坦化法の検討
原子層積層構造の平坦化法の検討
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原子层堆叠结构平坦化方法研究
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
北浦良
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上田哲大;堀田貴都;上野啓司;渡邊賢司;谷口尚;北浦良
