Fabrication of 3-D Silicon Micro Probes for Neural Recording Using Multi-step VLS Growth
Fabrication of 3-D Silicon Micro Probes for Neural Recording Using Multi-step VLS Growth
复制标题
使用多步 VLS 生长制造用于神经记录的 3D 硅微探针
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and M. Ishida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Ikedo;N. Funagayama;T. Kawashima;H. Takao;K. Sawada;and M. Ishida
