Ultra-thin chip with permalloy film for high performance MS/RF CMOS
Ultra-thin chip with permalloy film for high performance MS/RF CMOS
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用于高性能 MS/RF CMOS 的坡莫合金薄膜超薄芯片
DOI：
10.1109/vlsit.2004.1345490
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Ishiuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Ohguro;N. Sato;M. Matsuo;K. Kojima;H. Momose;K. Ishimaru;H. Ishiuchi
本文描述了在1.7 μ m超薄坡莫合金薄膜芯片上实现MOSFET和电感的高模拟性能。
In this paper, we describe the high analog performance of MOSFETs and inductors on 1.7/spl mu/m ultra-thin chip with permalloy film.