干渉フェムト秒レーザー加工による10nm以下の超微細構造の形

干渉フェムト秒レーザー加工による10nm以下の超微細構造の形
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通过干涉飞秒激光加工形成10nm以下的超微细结构

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
宮永憲明
宮永憲明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中田芳樹;桃尾一馬;廣本卓也;宮永憲明

文献摘要

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