Flow behavior of UV curable resin at nanoimprint process with varying temperature
Flow behavior of UV curable resin at nanoimprint process with varying temperature
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不同温度下纳米压印工艺中紫外光固化树脂的流动行为
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jun Taniguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Noriyuki Unno;Motoharu Asano;Shin-ichi Satake;Jun Taniguchi
