講濱奨励賞受賞記念講演イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成
講濱奨励賞受賞記念講演イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成
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小滨鼓励奖纪念讲座：AlN薄膜极性和取向的控制以及通过离子束照射沉积形成极性反转多层结构
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木雅視;柳谷隆彦
