An Automatic Modeling System for the Reaction Mechanisms of Chemical Vapor Deposition Processes Using Bio-Inspired Algorithms
An Automatic Modeling System for the Reaction Mechanisms of Chemical Vapor Deposition Processes Using Bio-Inspired Algorithms
复制标题
使用仿生算法的化学气相沉积过程反应机制的自动建模系统
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Masamoto Arakawa and Yoshinori Ema
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takahiro Takahashi;Masamoto Arakawa and Yoshinori Ema
