都田昌之他: "ウエハ浮上型枚葉式表面処理装置の開発とその特性解析" 平成8年度重点領域研究極限集積化シリコン知能エレクトロニクス. 178-185 (1997)
都田昌之他: "ウエハ浮上型枚葉式表面処理装置の開発とその特性解析" 平成8年度重点領域研究極限集積化シリコン知能エレクトロニクス. 178-185 (1997)
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Masayuki Miyakoda等：“浮动晶圆型单晶圆表面处理设备的开发及其特性分析”1996年极端集成硅智能电子优先领域研究178-185（1997）。
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