スパッタ法で作製したGd添加AIN膜の紫外発光特性

スパッタ法で作製したGd添加AIN膜の紫外発光特性
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溅射法制备Gd掺杂AlN薄膜的紫外发射特性

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 No. 1
影响因子:
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通讯作者:
鈴木 彰
鈴木 彰
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
廣村友紀;小坂賢一;宮原 学;荒木 努;名西〓之;江村修一;鈴木 彰

文献摘要

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