SUBMICRON-SCALE WETTABILITY CONTROL BY USING FOCUSED ION BEAM IRRADIATION TO FOPA-SAM
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使用聚焦离子束照射 FOPA-SAM 进行亚微米级润湿性控制
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tatsuya Ikuta and Yasuyuki Takata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koji Takahashi;Yutaka Yamada;Takashi Nishiyama;Tatsuya Ikuta and Yasuyuki Takata
