LTCC基板を用いたMEMS移相器のRF特性評価

LTCC基板を用いたMEMS移相器のRF特性評価
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使用 LTCC 基板的 MEMS 移相器的 RF 特性评估

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木健一郎
鈴木健一郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
勝部弘輝;檜垣嵩之;古塚岐;西野朋希;鈴木健一郎

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