MEMS用PZTの高性能化
MEMS用PZTの高性能化
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提高 MEMS 中 PZT 的性能
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉田 慎哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shota Sakamoto;Kennedy Okeyo;Satoshi Yamazaki;Osamu Kurosawa;Hidehiro Oana;Hidetoshi Kotera;and Masao Washizu;吉田 慎哉
