Cyclic BCl3-based plasma treatments for enhancing surface quality of (010) β-Ga2O3 substrates
Cyclic BCl3-based plasma treatments for enhancing surface quality of (010) β-Ga2O3 substrates
复制标题
基于循环 BCl3 的等离子体处理可提高 (010) β-Ga2O3 基材的表面质量
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
C. Dussarrat
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Douest;C. Mannequin;T. Ito;Y. Ozaki;H. Okumura;E. Gheeraert;K. Akimoto;M. Sasaki;T. Teramoto;C. Dussarrat
