Development of Low Fluorescence Thick Photoresist for High Aspect Ratio Microstructures in Bio Application

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生物应用中高深宽比微结构低荧光厚光刻胶的开发

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Kotera and T. Suzuki
H. Kotera and T. Suzuki
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Tamai;K. Maruo;H. Kotera and T. Suzuki

文献摘要

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