Surface-oxide etching on Al substrates for the formation of AlN
Surface-oxide etching on Al substrates for the formation of AlN
复制标题
在 Al 基底上进行表面氧化物蚀刻以形成 AlN
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Yamamoto and T. Honda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Taguchi;M. Sawadaishi;K. Sasaya;H. Yamamoto and T. Honda
