K.Tonokura et al.: "Chemical Kinetics for film growth in Silicon CVD"J. Non-Crystalline Solids. (in press). (2002)
K.Tonokura et al.: "Chemical Kinetics for film growth in Silicon CVD"J. Non-Crystalline Solids. (in press). (2002)
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K.Tonokura 等人：“硅 CVD 中薄膜生长的化学动力学”J。
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