Development of ALD HfZrO x with TDEAH/TDEAZ and H2O
Development of ALD HfZrO x with TDEAH/TDEAZ and H2O
复制标题
使用 TDEAH/TDEAZ 和 H2O 开发 ALD HfZrO x
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S. Elshocht
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
X. Shi;H. Tielens;S. Takeoka;T. Nakabayashi;L. Nyns;C. Adelmann;A. Delabie;T. Schram;L. Ragnarsson;M. Schaekers;L. Date;R. Schreutelkamp;S. Elshocht
