Polycrystalline SiC coating on large-sized SiC ceramics using Si vapor
Polycrystalline SiC coating on large-sized SiC ceramics using Si vapor
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使用 Si 蒸气在大尺寸 SiC 陶瓷上形成多晶 SiC 涂层
DOI:
10.2109/jcersj2.21121
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发表时间:
2021
影响因子:
1.1
通讯作者:
TAISHI Toshinori
中科院分区:
文献类型:
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作者:
KAGAMI Yuuki;YAMAMOTO Syuuichi;YOKOBAYASHI Yuta;UCHIDA Ryunosuke;SUZUKI Koki;TARUTA Seiichi;TAISHI Toshinori