M. Shimozuma: Proceeding of the 6th Symposium on Plasma Processing. 6. 502-505 (1989)
M. Shimozuma: Proceeding of the 6th Symposium on Plasma Processing. 6. 502-505 (1989)
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M. Shimozuma：第六届等离子体加工研讨会论文集。
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