Y.Yasaka: "Two-Dimensional Modeling of ECR-Produced Silane Plasma" Proc.12th Symposium of Plasma Processing. 297-300 (1995)
Y.Yasaka: "Two-Dimensional Modeling of ECR-Produced Silane Plasma" Proc.12th Symposium of Plasma Processing. 297-300 (1995)
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Y.Yasaka：“ECR 产生的硅烷等离子体的二维建模”Proc.12th 等离子体处理研讨会。
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