Microscopic observation of Nanopores formed in SIMOX(100)utilizing methylsilane pulse jet CVD
Microscopic observation of Nanopores formed in SIMOX(100)utilizing methylsilane pulse jet CVD
复制标题
利用甲基硅烷脉冲喷射 CVD 显微观察 SIMOX(100) 中形成的纳米孔
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Teruaki Motooka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hafizal Yahaya;Yoshifumi Ikoma;Teruaki Motooka
