Oxygen plasma induced decomposition of organo silane molecules
Oxygen plasma induced decomposition of organo silane molecules
复制标题
氧等离子体诱导有机硅烷分子分解
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
J.Hayashi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Satoshi Arimoto;桑畑 進;桑畑 進;桑畑 進;Y.Nitta;J.Hayashi
