Preparation of Beta Alumina Films by Laser Chemical Vapor Deposition
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复制标题
激光化学气相沉积法制备β氧化铝薄膜
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T. Goto
中科院分区:
文献类型:
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作者:
You Yu;A. Ito;R. Tu;T. Goto