Preparation of Beta Alumina Films by Laser Chemical Vapor Deposition

Preparation of Beta Alumina Films by Laser Chemical Vapor Deposition
复制标题

激光化学气相沉积法制备β氧化铝薄膜

DOI:
--
复制
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
T. Goto
T. Goto
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
You Yu;A. Ito;R. Tu;T. Goto

文献摘要

相似文献