T.Shirafuji: "PE-CVD of Ultra Low-k Thin Films and Its Gas Phase Diagnostics"The 16th International Symposium on Plasma Chemistry. 16. Po6-30-Po30 (2003)
T.Shirafuji: "PE-CVD of Ultra Low-k Thin Films and Its Gas Phase Diagnostics"The 16th International Symposium on Plasma Chemistry. 16. Po6-30-Po30 (2003)
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T.Shirafuji：“超低 k 薄膜的 PE-CVD 及其气相诊断”第 16 届国际等离子体化学研讨会。
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