Hidetoshi Kotera: "A study of the effect of the fabrication process on diffusion in a layered thin film"Microsystem Technologies. Vol.5, No4. 169-172 (1999)
Hidetoshi Kotera: "A study of the effect of the fabrication process on diffusion in a layered thin film"Microsystem Technologies. Vol.5, No4. 169-172 (1999)
复制标题
Hidetoshi Kotera：“制造工艺对层状薄膜扩散影响的研究”Microsystem Technologies。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
