電流検出型原子間力顕微鏡によるゲート絶縁膜の局所電気的特性と信頼性の評価
電流検出型原子間力顕微鏡によるゲート絶縁膜の局所電気的特性と信頼性の評価
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使用电流检测原子力显微镜评估栅极绝缘膜的局部电特性和可靠性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂下 満男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤雄三;平安座朝誠;坂下満男;近藤博基;財満鎭明;坂下 満男
