Relationship of Phase Shift Mask Design and Size of Three-Dimension Nanostructures
Relationship of Phase Shift Mask Design and Size of Three-Dimension Nanostructures
复制标题
相移掩模设计与三维纳米结构尺寸的关系
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Y. Uraoka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Sihapitak;Y. Ishikawa;X. Wang;M. Uenuma;and Y. Uraoka
