Atsushi Yamada: "Scale reduction rule for diaphragm dimensions to miniaturize a silicon-based integrated optic pressure sensor without reducing sensitivity"Proceedings of SPIE. 4987. (2003)
Atsushi Yamada: "Scale reduction rule for diaphragm dimensions to miniaturize a silicon-based integrated optic pressure sensor without reducing sensitivity"Proceedings of SPIE. 4987. (2003)
复制标题
Atsushi Yamada：“隔膜尺寸的缩小规则，可在不降低灵敏度的情况下小型化硅基集成光学压力传感器”SPIE 论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
