Vacuum-packaged Resonant Pressure Sensor with Dual Resonators for High Sensitivity and Linearity
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DOI：
10.1016/j.proeng.2015.08.609
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Junbo Wang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Bo Xie;Yonghao Xing;Yanshuang Wang;Deyong Chen;Junbo Wang
