Si含有DLC成膜用炭化水素プラズマの診断 : プラズマ基礎特性の電力依存性
Si含有DLC成膜用炭化水素プラズマの診断 : プラズマ基礎特性の電力依存性
复制标题
用于含Si DLC膜形成的碳氢化合物等离子体的诊断：基本等离子体特性的功率依赖性
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
上坂 裕之
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
大野 祐也 ;永井 雅之 ;小田 昭紀 ;太田 貴之 ;上坂 裕之
