Step Response Dependent on Step Pressure in a Micropressure Sensor with a Semi-Closed Hollow Structure
Step Response Dependent on Step Pressure in a Micropressure Sensor with a Semi-Closed Hollow Structure
复制标题
半封闭空心结构微压力传感器中阶跃响应与阶跃压力的关系
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masashi Ohkawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoto Takaoka;Hana Ono;Takashi Sato;Masashi Ohkawa
