圧電MEMSのDRIEによるデバイス構造作製と3次元化への試み
圧電MEMSのDRIEによるデバイス構造作製と3次元化への試み
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尝试使用压电MEMS DRIE制造器件结构并创建三维结构
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神田健介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Kanda;T. Ushita;T. Fujita;K. Maenaka;平井翔太，神田健介，佐野良，藤田孝之，前中一介;神田健介;神田健介
