対向スパッタによる圧電膜の成膜-2
対向スパッタによる圧電膜の成膜-2
复制标题
通过面溅射形成压电膜-2
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
曽根順治，松本康義，沓澤翔吾，安田洋司，星陽一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
曽根 順治;松本 康義;大泉 勝彦;曽根順治，中島乃樹，関谷涼，松本康義，長谷川晶一;曽根順治，松本康義，大泉勝彦，安田洋司，星陽一;曽根順治;曽根順治,中島 乃樹,松本 康義,長谷川 晶一;曽根順治,松本康義,山田優希,星陽一;松本康義，沓澤翔吾，曽根順治 ，安田 洋司，星陽一;曽根順治，松本康義，沓澤翔吾，安田洋司，星陽一
