Bio-LBL法を利用した積層ナノドット型フローティングゲートメモリの作製

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利用Bio-LBL方法制造堆叠纳米点浮栅存储器

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
浦岡行治
浦岡行治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小原孝介;鄭彬;上沼睦典;石河泰明;山下一郎;浦岡行治

文献摘要

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