アンモニア水上曝露処理によるポリシラザン膜のシリカ膜への転化過程の詳細とシリカ膜の性状
アンモニア水上曝露処理によるポリシラザン膜のシリカ膜への転化過程の詳細とシリカ膜の性状
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氨水曝光处理聚硅氮烷薄膜转化为二氧化硅薄膜的过程详述及二氧化硅薄膜的性能
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内山弘章,幸塚広光
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中島晃仁;内山弘章,幸塚広光
